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cemco產(chǎn)品在半導(dǎo)體/液晶行業(yè)的介紹實(shí)例

發(fā)布時(shí)間:2023-01-06 點(diǎn)擊量:935

cemco產(chǎn)品在半導(dǎo)體/液晶行業(yè)的介紹實(shí)例

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咨詢(xún)內(nèi)容

我想消除攪拌 CMP 漿液時(shí)因夾氣引起的質(zhì)量變化。

半導(dǎo)體工廠(chǎng)總是使用攪拌器來(lái)防止CMP漿液分離。然而,當(dāng)化學(xué)浴中的液位變低時(shí),攪拌器的轉(zhuǎn)速對(duì)于被攪拌的液體來(lái)說(shuō)變得過(guò)強(qiáng),導(dǎo)致空氣夾帶,從而導(dǎo)致質(zhì)量變化和產(chǎn)品缺陷的問(wèn)題正在發(fā)生。

質(zhì)量變化和產(chǎn)品缺陷會(huì)造成相當(dāng)大的損失,如果能夠預(yù)防,則可以大大提高缺陷率。 

建議

一種TCMD型攪拌器,根據(jù)CMP漿液液位實(shí)現(xiàn)攪拌器轉(zhuǎn)速控制。

液位計(jì)或稱(chēng)重傳感器可用作測(cè)量液體體積的方法。
來(lái)自液位計(jì)、稱(chēng)重傳感器等的外部信號(hào)(4 至 20mA 或 1 至 5V)可用于控制轉(zhuǎn)數(shù),防止化學(xué)罐中的質(zhì)量變化和夾帶空氣。

 

使用電平表的應(yīng)用示例
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采用直流無(wú)刷電機(jī),轉(zhuǎn)速可由外部信號(hào)控制。



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